반도체·FPD·이차전지 공정에 최적화된 고순도 특수가스 공급 시스템을 설계부터 시공, 유지보수까지 일괄 제공합니다. SEMI S2/S8 규격 준수 및 ISO 인증 품질관리 체계를 갖추고 있습니다.
공정 요구사항에 맞는 최적 시스템을 제안합니다
고압 가스 실린더 안전 보관 및 공급 제어 시스템
대용량 가스 저장·기화·공급 통합 시스템
다중 가스 라인 밸브 집합 제어 박스
복합 가스 배관 분기·연결 집합 장치
가스 내 불순물 제거 고순도 정제 시스템
가스 누출 감지 및 농도 모니터링 시스템
반도체 공정용 고순도 배관 설계·시공·검사
체계적인 6단계 프로세스로 안전하고 정확하게 시공합니다
공정 조건·배관 경로·안전 구역 분석
P&ID 도면·장비 사양·재질 선정
3D 배관 모델링·간섭 검토
SEMI 인증 자재·밸브·피팅 구매
용접·압력 테스트·He 누출 검사
퍼지·가스 충진·모니터링 연동
다양한 산업 분야의 특수가스 시스템 도입 문의 사례입니다
노후 Gas Cabinet 전면 교체 및 SiH₄·HCl 등 특수가스 배관 Hook-up 일괄 의뢰
검토 결과
SEMI S2/S8 규격 준수, 누출 감지 센서 통합 설치 완료
N₂·O₂ 대용량 공급을 위한 Bulk Supply Gas System 신규 구축 문의
검토 결과
기화기·레귤레이터·모니터링 일체형 시스템 설계 제안
2차전지 전극 공정 드라이룸 내 N₂ 퍼지 배관 및 VMB 설치 문의
검토 결과
이슬점 -60°C 이하 유지 가능한 고순도 N₂ 공급 라인 설계
제약 GMP 시설 내 O₂·CO₂ 농도 실시간 모니터링 시스템 구축 요청
검토 결과
FDA 21 CFR Part 11 준수 데이터 로깅 시스템 통합 제안
정밀화학 공정 내 NH₃·HF 등 부식성 가스 정제 시스템 도입 검토
검토 결과
99.9999% 순도 달성 가능한 정제 시스템 사양 제안
LED MOCVD 장비용 TMGa·TMIn 등 유기금속 가스 배관 Hook-up 의뢰
검토 결과
스테인리스 EP 배관 + 용접 후 He 누출 검사 완료
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