System Integration반도체 배관 시공

반도체 배관 시공
고순도 · 고신뢰성

반도체·디스플레이·이차전지 공장의 고순도 가스 배관, 케미컬 배관, 초순수(UPW) 배관, 진공 배관을 설계·시공합니다. 궤도 용접(Orbital Welding)과 He Leak Test로 최고 수준의 품질을 보장합니다.

SUS316L EP 배관궤도 용접He Leak TestSEMI F20PFA / PVDF 배관
Systems

주요 배관 시스템

🔩

고순도 가스 배관 (HP Piping)

반도체 공정용 SUS316L EP 배관을 설계·시공합니다. 내면 전해연마(EP) 처리로 파티클 발생을 최소화하며, 용접 후 헬륨 누출 검사(He Leak Test)를 필수 수행합니다.

  • SUS316L EP 배관
  • 궤도 용접(Orbital Welding)
  • He Leak Test
  • SEMI F20 준수
⚗️

케미컬 배관 (Chemical Piping)

HF, H₂SO₄, HCl 등 부식성 케미컬 배관을 PFA, PVDF, PP 소재로 시공합니다. 이중관(Double Containment) 구조로 누출 시 안전을 보장합니다.

  • PFA / PVDF / PP 소재
  • 이중관(Double Containment)
  • 화학 내성 피팅
  • 누출 감지 센서 연동
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초순수(UPW) 배관

반도체 세정 공정에 사용되는 초순수(UPW) 공급 배관을 시공합니다. 루프 배관 설계로 수질 오염을 방지하고 TOC·파티클 기준을 충족합니다.

  • PFA / PVDF 루프 배관
  • TOC < 1 ppb 수준
  • 파티클 0.05μm 이하
  • UV 조사 시스템 연동
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진공 배관 (Vacuum Piping)

반도체 장비용 진공 배관 시공 및 진공 펌프 연결 배관을 설계합니다. 스테인리스 용접 및 VCR/CF 피팅으로 고진공 환경을 구현합니다.

  • SUS 경면 연마 배관
  • VCR / CF 피팅
  • 10⁻⁸ Torr 수준 진공
  • 진공 누출 검사
🔧

드레인 배관 (Drain Piping)

산성·알칼리성 폐액을 분리 수집하는 드레인 배관 시스템을 구축합니다. 산·알칼리 계통 분리로 폐수 처리 효율을 높입니다.

  • 산성 / 알칼리 계통 분리
  • PP / PVDF 소재
  • 폐수 처리 연동
  • 기울기 설계
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N₂ / CDA 배관

클린룸 내 질소(N₂) 및 청정건조공기(CDA) 공급 배관을 시공합니다. 이슬점 -40°C 이하 CDA 공급 라인 설계 및 N₂ 퍼지 시스템을 구축합니다.

  • SUS316L EP 배관
  • 이슬점 -40°C 이하 CDA
  • N₂ 퍼지 시스템
  • 압력 모니터링
Process

시공 프로세스

01

현장 조사 및 도면 검토

기존 배관 도면 검토, 현장 측량, 간섭 체크 및 시공 계획 수립

02

자재 선정 및 발주

공정 조건에 맞는 소재(SUS316L EP, PFA, PVDF 등) 선정 및 인증 자재 발주

03

배관 설계 및 ISO 도면 작성

3D 배관 설계 및 ISO 도면 작성, 지지대·행거 설계 포함

04

배관 제작 및 용접

궤도 자동 용접(Orbital Welding) 또는 수동 TIG 용접, 용접 기록 관리

05

세정 및 패시베이션

배관 내부 세정(Cleaning) 및 패시베이션(Passivation) 처리로 불순물 제거

06

누출 검사 및 시운전

He Leak Test, 압력 시험, 유량 측정 후 최종 시운전 및 인수인계

Cases

도입 사례

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반도체

8인치 FAB 가스 배관 Hook-up

노후 반도체 공장의 SiH₄·HCl·NH₃ 특수가스 배관 전면 교체 및 Hook-up 의뢰

결과: SUS316L EP 궤도 용접 + He Leak Test 전 구간 통과, SEMI F20 준수 완료
고순도 가스 배관
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이차전지

배터리 공장 케미컬 배관

이차전지 전극 공정 NMP 케미컬 공급 배관 신설 문의

결과: PFA 이중관 + 누출 감지 센서 연동 시스템 설계·시공 완료
케미컬 배관
📺
디스플레이

OLED 공장 N₂ / CDA 배관

OLED 증착 공정 N₂ 퍼지 및 CDA 공급 배관 신규 구축 요청

결과: 이슬점 -60°C 이하 N₂ 공급 라인 + CDA 루프 배관 시공 완료
N₂ / CDA 배관
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제약

GMP 시설 UPW 배관

제약 GMP 시설 내 초순수(UPW) 공급 루프 배관 구축 의뢰

결과: PVDF 루프 배관 + TOC < 1ppb 수질 기준 달성, FDA 규격 준수
초순수(UPW) 배관
Quote

견적 요청

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