반도체·디스플레이·이차전지 공장의 고순도 가스 배관, 케미컬 배관, 초순수(UPW) 배관, 진공 배관을 설계·시공합니다. 궤도 용접(Orbital Welding)과 He Leak Test로 최고 수준의 품질을 보장합니다.
반도체 공정용 SUS316L EP 배관을 설계·시공합니다. 내면 전해연마(EP) 처리로 파티클 발생을 최소화하며, 용접 후 헬륨 누출 검사(He Leak Test)를 필수 수행합니다.
HF, H₂SO₄, HCl 등 부식성 케미컬 배관을 PFA, PVDF, PP 소재로 시공합니다. 이중관(Double Containment) 구조로 누출 시 안전을 보장합니다.
반도체 세정 공정에 사용되는 초순수(UPW) 공급 배관을 시공합니다. 루프 배관 설계로 수질 오염을 방지하고 TOC·파티클 기준을 충족합니다.
반도체 장비용 진공 배관 시공 및 진공 펌프 연결 배관을 설계합니다. 스테인리스 용접 및 VCR/CF 피팅으로 고진공 환경을 구현합니다.
산성·알칼리성 폐액을 분리 수집하는 드레인 배관 시스템을 구축합니다. 산·알칼리 계통 분리로 폐수 처리 효율을 높입니다.
클린룸 내 질소(N₂) 및 청정건조공기(CDA) 공급 배관을 시공합니다. 이슬점 -40°C 이하 CDA 공급 라인 설계 및 N₂ 퍼지 시스템을 구축합니다.
기존 배관 도면 검토, 현장 측량, 간섭 체크 및 시공 계획 수립
공정 조건에 맞는 소재(SUS316L EP, PFA, PVDF 등) 선정 및 인증 자재 발주
3D 배관 설계 및 ISO 도면 작성, 지지대·행거 설계 포함
궤도 자동 용접(Orbital Welding) 또는 수동 TIG 용접, 용접 기록 관리
배관 내부 세정(Cleaning) 및 패시베이션(Passivation) 처리로 불순물 제거
He Leak Test, 압력 시험, 유량 측정 후 최종 시운전 및 인수인계
노후 반도체 공장의 SiH₄·HCl·NH₃ 특수가스 배관 전면 교체 및 Hook-up 의뢰
이차전지 전극 공정 NMP 케미컬 공급 배관 신설 문의
OLED 증착 공정 N₂ 퍼지 및 CDA 공급 배관 신규 구축 요청
제약 GMP 시설 내 초순수(UPW) 공급 루프 배관 구축 의뢰