반도체·제약·이차전지·식품 산업을 위한 맞춤형 클린룸 설계·시공·유지보수 전문 서비스. ISO 3~8 등급 전 범위 구현.
국제 표준 ISO 14644-1에 따른 청정도 등급별 특성 및 적용 분야를 안내합니다.
| ISO 등급 | FED 기준 | 허용 파티클 수 | 주요 적용 분야 |
|---|---|---|---|
| ISO 3 | Class 1 | ≤ 1,000/m³ (0.1μm) | 반도체 노광, 나노소자 |
| ISO 4 | Class 10 | ≤ 10,000/m³ (0.1μm) | 반도체 웨이퍼, MEMS |
| ISO 5 | Class 100 | ≤ 100,000/m³ (0.1μm) | 반도체 FAB, 의약품 무균 |
| ISO 6 | Class 1,000 | ≤ 1,000,000/m³ (0.1μm) | 광학 렌즈, 정밀기계 |
| ISO 7 | Class 10,000 | ≤ 10,000,000/m³ (0.1μm) | GMP 의약품, 이차전지 |
| ISO 8 | Class 100,000 | ≤ 100,000,000/m³ (0.1μm) | 식품, 일반 전자부품 |
Fan Filter Unit 기반 수직 층류 기류로 ISO 3~5 초청정 환경 구현
±0.5°C, ±2% RH 이내 정밀 공조 제어로 공정 안정성 확보
기류 측정, 파티클 카운트, 균일성 테스트 및 GMP 밸리데이션 지원
반도체 FAB용 특수가스·UPW 배관 시스템과 클린룸 통합 설계
기존 건물 구조 활용 가능한 모듈형 패널 시스템으로 단기 시공
이차전지 전극 공정용 저노점(-40°C dew point) 드라이룸 전문 설계